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申请/专利权人：南京华东电子真空材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，包括不锈钢主体，所述不锈钢主体顶端的前后两侧对称开设有空腔，所述空腔底壁的中心固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆顶端的输出轴转动连接有基片，所述基片的左右两端均开设有侧槽，所述侧槽内部的前后两侧对称滑动连接有滑块，所述滑块的顶端转动连接有转杆一；本实用新型通过旋转掩膜并更换不同的靶材，可以在同一个掩膜的表面生产不同的膜层，克服薄膜吸气剂膜层种类单一的问题；在提起掩膜的过程中，按压板对掩膜的边缘进行限定，使得基片托举掩膜并使掩膜保持水平，避免掩膜在升起的过程中弯折而导致镀膜层的损坏，进而避免成本损失和资源浪费。
主权项：1.一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，包括不锈钢主体1，其特征在于：所述不锈钢主体1顶端的前后两侧对称开设有空腔2，所述空腔2底壁的中心固定安装有电动伸缩杆3，所述电动伸缩杆3顶端的输出轴转动连接有基片4，所述基片4的左右两端均开设有侧槽5，所述侧槽5内部的前后两侧对称滑动连接有滑块6，所述滑块6的顶端转动连接有转杆一7，所述转杆一7远离滑块6的一端固定连接有缓冲弹簧一8，所述缓冲弹簧一8远离转杆一7的一端固定安装有转杆二9，所述转杆二9的表面固定安装有稳定杆10，所述转杆二9远离缓冲弹簧一8的一端转动连接有连接板11，所述连接板11的前后两侧均固定安装有按压板12，所述滑块6的底端固定安装有底板13，所述底板13的表面固定连接有拉绳14，所述空腔2的底壁固定安装有凸杆15，所述基片4的底端固定安装有缓冲弹簧二16，所述基片4的表面设置有掩膜17。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京华东电子真空材料有限公司 一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜
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