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申请/专利权人：浙江晶盛光子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种吸盘组件，所述吸盘组件包括安装板和多个吸盘，在所述吸盘的厚度方向上，多个所述吸盘间隔设于所述安装板上，所述吸盘包括吸盘本体和吸嘴，所述吸盘本体上具有多个吸附部，多个所述吸附部间隔布置，所述吸盘本体上还具有第一气体通道、第一通气口和第二通气口，所述第一通气口和所述第二通气口均与所述第一气体通道连通，所述第一通气口用于与真空发生器连通，所述吸嘴与所述吸盘本体相连，每个所述吸附部上设有至少一个所述吸嘴，所述吸嘴与所述第二通气口连通，所述吸嘴用于吸取硅片。本发明实施例的吸盘组件具有转运效率高的等优点。
主权项：1.一种吸盘组件，其特征在于，包括：安装板1；和多个吸盘2，在所述吸盘2的厚度方向上，多个所述吸盘2间隔设于所述安装板1上，所述吸盘2包括吸盘本体201和多个吸嘴202，所述吸盘本体201上具有多个吸附部2011，多个所述吸附部2011间隔布置，所述吸盘本体201上还具有第一气体通道2012以及与所述第一气体通道2012连通的第一通气口2013和第二通气口2014，所述第一通气口2013用于与真空发生器3连通，所述第二通气口2014与所述吸嘴202连通，所述吸嘴202与所述吸盘本体201相连，每个所述吸附部2011上设有至少一个所述吸嘴202，所述吸嘴202用于吸取硅片200。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江晶盛光子科技有限公司 一种吸盘组件
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