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一种金刚线切割液及其制备方法 

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申请/专利权人:东莞市希尔金属材料有限公司

摘要:本发明涉及切割液技术领域,具体涉及一种金刚线切割液及其制备方法,所述金刚切割液包括如下重量份的原料:分散剂28‑33份、润湿剂22‑27份、防腐剂0.5‑3份、防锈剂0.1‑2份、增溶剂1‑5份、pH调节剂1‑3份、消泡剂0.01‑1份、螯合剂0.5‑2份、去离子水50‑85份。通过上述配方得到的金刚线切割液具有良好的润湿性和分散性、较低的表面张力,满足现场应用指标要求;同时该金属切割液起泡量少、消泡快且无残泡。在实际应用过程中,此类金刚线切割液能够显著提高产品良率,改善硅片切割过程中存在的崩边、脏污、线痕和厚薄不均匀等问题。

主权项:1.一种金刚线切割液,其特征在于:所述金刚切割液包括如下重量份的原料:分散剂28-33份、润湿剂22-27份、防腐剂0.5-3份、防锈剂0.1-2份、增溶剂1-5份、pH调节剂1-3份、消泡剂0.01-1份、螯合剂0.5-2份、去离子水50-85份。

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