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申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所
摘要：本发明公开了式IA所示多苯基取代金刚烷衍生物单分子树脂及其制备方法和应用。所述多苯基取代金刚烷衍生物单分子树脂在各种极性溶剂中都具有很好的溶解性，适于制成薄膜，同时具有很高的分解温度，能够很好地满足光刻工艺的要求。
主权项：1.式IA所示化合物： 其中，R1，R2，R3，R4相同或不同，彼此独立地选自H或Ra选自H，OH，-OSO2-Cn，Cn选自C1-12烷基，卤代C1-12烷基，-C6-20芳基-Rb，-5-20元杂芳基-Rb，Rb选自硝基，氰基，卤素，C1-12烷基，C1-12烷氧基或卤代C1-12烷基；m为1，2，3，4或5；条件是R1，R2，R3，R4中至少1个选自且中至少有1个Ra为-OSO2-Cn。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院理化技术研究所 非化学放大型多苯基取代金刚烷衍生物单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用
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