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提高外延片平坦度的制备方法和装置 

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申请/专利权人:浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司

摘要:本发明公开了提高外延片平坦度的制备方法和装置,涉及外延片生产技术领域,提高外延片平坦度的制备装置,包括两端为敞口的反应壳体,还包括密封进气法兰,其密封连接于反应壳体一端;密封排气件,其密封连接于反应壳体另一端;进气管,其贯穿密封进气法兰,并一端延伸至反应壳体内;本发明通过喇叭形槽口、密封盖板等之间的相互配合,在初始充气阶段,通过抽气系统对活塞腔进行抽气,使大流量的保护气体从喇叭形槽口流出进入反应壳体内,大流量的保护气体流出,能够避免气体未混合均匀前,气相沉积反应的混合气体过早地沉淀在外延片上,导致外延片厚度不均匀的情况发生。

主权项:1.提高外延片平坦度的制备装置,包括两端为敞口的反应壳体(1),其特征在于,还包括密封进气法兰(2),其密封连接于反应壳体(1)一端;密封排气件(3),其密封连接于反应壳体(1)另一端;进气管(4),其贯穿密封进气法兰(2),并一端延伸至反应壳体(1)内;多个隔板(5),其呈阵列置于所述进气管(4)内壁,将进气管(4)内壁空腔分割为多个通道(6);喇叭形槽口(7),其置于所述进气管(4)位于反应壳体(1)内的一端;密封盖板(8),其置于所述喇叭形槽口(7)内,其形状与喇叭形槽口(7)相适配,所述密封盖板(8)上呈阵列开设有多个进气孔(801);保护气体进气道(9),其开设于所述进气管(4)管壁并与喇叭形槽口(7)连通;导向杆(10),其置于密封盖板(8)背离反应壳体(1)的一侧,其延伸至进气管(4)外,并与进气管(4)密封滑动连接;滑动板(11),其滑动套设于所述导向杆(10)位于进气管(4)外的一端;弹性复位部件(12),其套设于导向杆(10)位于进气管(4)外的一端,一端与滑动板(11)连接,另一端与导向杆(10)连接;活塞腔(13),其开设于所述进气管(4)管壁,其靠近反应壳体(1)的一端通过导管分别与进气系统和抽气系统连接,其远离反应壳体(1)一端与大气相连通;活塞(14),其置于活塞腔(13)内;推杆(15),其一端与活塞(14)连接,另一端与滑动板(11)连接。

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