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申请/专利权人：浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了提高外延片平坦度的制备方法和装置，涉及外延片生产技术领域，提高外延片平坦度的制备装置，包括两端为敞口的反应壳体，还包括密封进气法兰，其密封连接于反应壳体一端；密封排气件，其密封连接于反应壳体另一端；进气管，其贯穿密封进气法兰，并一端延伸至反应壳体内；本发明通过喇叭形槽口、密封盖板等之间的相互配合，在初始充气阶段，通过抽气系统对活塞腔进行抽气，使大流量的保护气体从喇叭形槽口流出进入反应壳体内，大流量的保护气体流出，能够避免气体未混合均匀前，气相沉积反应的混合气体过早地沉淀在外延片上，导致外延片厚度不均匀的情况发生。
主权项：1.提高外延片平坦度的制备装置，包括两端为敞口的反应壳体（1），其特征在于，还包括密封进气法兰（2），其密封连接于反应壳体（1）一端；密封排气件（3），其密封连接于反应壳体（1）另一端；进气管（4），其贯穿密封进气法兰（2），并一端延伸至反应壳体（1）内；多个隔板（5），其呈阵列置于所述进气管（4）内壁，将进气管（4）内壁空腔分割为多个通道（6）；喇叭形槽口（7），其置于所述进气管（4）位于反应壳体（1）内的一端；密封盖板（8），其置于所述喇叭形槽口（7）内，其形状与喇叭形槽口（7）相适配，所述密封盖板（8）上呈阵列开设有多个进气孔（801）；保护气体进气道（9），其开设于所述进气管（4）管壁并与喇叭形槽口（7）连通；导向杆（10），其置于密封盖板（8）背离反应壳体（1）的一侧，其延伸至进气管（4）外，并与进气管（4）密封滑动连接；滑动板（11），其滑动套设于所述导向杆（10）位于进气管（4）外的一端；弹性复位部件（12），其套设于导向杆（10）位于进气管（4）外的一端，一端与滑动板（11）连接，另一端与导向杆（10）连接；活塞腔（13），其开设于所述进气管（4）管壁，其靠近反应壳体（1）的一端通过导管分别与进气系统和抽气系统连接，其远离反应壳体（1）一端与大气相连通；活塞（14），其置于活塞腔（13）内；推杆（15），其一端与活塞（14）连接，另一端与滑动板（11）连接。
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