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申请/专利权人:国科温州研究院(温州生物材料与工程研究所)
摘要:本发明公开一种用于飞秒激光汇聚扫描的光学镜头,基于波长为1030nm的飞秒激光器,所述光学镜头由五块透镜沿光轴物侧到成像面的方向间隔布置,依次包括具有负光焦度的第一透镜,其物侧面为凹面,其像侧面为平面;具有正光焦度的第二透镜,其物侧面为平面,其像侧面为凸面;具有正光焦度的第三透镜,其物侧面为凸面,其像侧面为平面;具有负光焦度的第四透镜,其物侧面为平面,其像侧面为凹面;具有正光焦度的第五透镜,其物侧面与像侧面均为凸面。本发明公开的光学镜头所产生的聚焦光斑与理论衍射极限范围相当,且光斑不会因为倾斜入射光产生明显的弥散状态,同时波前像差小于一个波长,可提高激光光束能量的均匀性,减少激光内干涉影响。
主权项:1.一种用于飞秒激光汇聚扫描的光学镜头,基于波长为1030nm的飞秒激光器,其特征在于,扫描范围为直径1mm的圆形范围,所述光学镜头由五块透镜沿光轴物侧到成像面的方向间隔布置,依次包括:具有负光焦度的第一透镜1,其物侧面为凹面,其像侧面为平面;具有正光焦度的第二透镜2,其物侧面为平面,其像侧面为凸面;具有正光焦度的第三透镜3,其物侧面为凸面,其像侧面为平面;具有负光焦度的第四透镜4,其物侧面为平面,其像侧面为凹面;具有正光焦度的第五透镜5,其物侧面和像侧面均为凸面。
全文数据:
权利要求:
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