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一种籽晶的提拉机构及晶体生长系统 

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申请/专利权人:北京京运通科技股份有限公司

摘要:本申请公开了一种籽晶的提拉机构及晶体生长系统。提拉机构包括支架、滑台、转动杆、连接结构和称重传感器,其中,沿转动杆的轴线方向,滑台与支架滑动连接,转动杆贯穿滑台,且相对滑台转动。称重传感器位于转动杆与连接结构之间,称重传感器连接转动杆,且随转动杆同步转动。称重传感器通过连接结构与滑台连接,其用于检测转动杆对籽晶施加的拉力值。转动杆背离称重传感器的一端用于连接籽晶。采用本申请的提拉机构,可根据称重传感器实时检测的拉力值,测算出籽晶与液面之间的高度值,并根据上述高度值使滑台带动转动杆相对于支架沿预设方向滑动,以提升引晶质量的稳定性。

主权项:1.一种籽晶的提拉机构,其特征在于,包括支架、滑台、转动杆、连接结构和称重传感器,其中:沿所述转动杆的轴线方向,所述滑台与所述支架滑动连接,所述转动杆贯穿所述滑台,且相对所述滑台转动;沿所述转动杆的轴线方向,所述称重传感器位于所述转动杆与所述连接结构之间,所述称重传感器连接所述转动杆,且随所述转动杆同步转动;所述称重传感器通过所述连接结构与所述滑台连接;所述转动杆背离所述称重传感器的一端用于连接籽晶,所述称重传感器用于检测所述转动杆对所述籽晶施加的拉力值。

全文数据:

权利要求:

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