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申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种镀膜载具及镀膜系统。镀膜载具包括多个承载件、连接件及多个支撑件，多个承载件沿第一方向依次间隔设置，承载件具有沿第一方向相对的第一侧和第二侧，第一侧用于承载待镀膜件，连接件沿第一方向依次穿设于多个承载件，多个支撑件可拆卸连接于连接件，其中，沿第一方向相邻的两个承载件之间布置有至少一支撑件，且沿第一方向相邻的两个承载件之间具有至少一支撑件间距；定义位于承载件的第二侧且与承载件相邻的支撑件为第一目标件，承载件经由对应的第一目标件支撑。本申请涉镀膜载具及镀膜系统能够满足多种工况下的待镀膜件均匀镀膜的需求。
主权项：1.一种镀膜载具，其特征在于，所述镀膜载具包括：多个承载件，多个所述承载件沿第一方向依次间隔设置，所述承载件具有沿所述第一方向相对的第一侧和第二侧，所述第一侧用于承载待镀膜件；连接件，沿所述第一方向依次穿设于多个所述承载件；及多个支撑件，可拆卸连接于所述连接件；其中，沿所述第一方向相邻的两个所述承载件之间布置有至少一所述支撑件，且沿所述第一方向相邻的两个所述承载件之间具有至少一支撑件间距；定义位于所述承载件的所述第二侧且与所述承载件抵接的支撑件为第一目标件，所述承载件经由与其抵接的所述第一目标件支撑。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 镀膜载具及镀膜系统
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