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申请/专利权人：深圳市奥普斯等离子体科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种防误锁的等离子处理设备腔门结构，包括可视密封腔门，设置于等离子处理的机体上，双向防锁腔，位于可视密封腔门的内壁与等离子处理腔一侧中端，用于可视密封腔门与等离子设备腔体的锁止，使得锁止组件与等离子处理腔形成双向锁止和内部解锁的作用。本可视密封腔门结构与等离子设备之间设置有双向防锁腔，为了达到在腔门外部干预情况下，被误锁人员可实现自救的目的，通过在双向防锁腔的内壁开设解锁凹槽，被误锁人员不但可通过弹性锁头把手将其打开，也可通过拧动定位螺杆将锁止块解锁，让联动锁闩设备从等离子设备内框中滑出解锁，从而避免意外情况下，维护人员被误锁现象，提升等离子设备的使用安全。
主权项：1.一种防误锁的等离子处理设备腔门结构，其特征在于，包括：可视密封腔门（1），设置于等离子处理的机体上；双向防锁腔（2），位于可视密封腔门（1）的内壁与等离子处理腔一侧中端，用于可视密封腔门（1）与等离子设备腔体的锁止，使得锁止组件与等离子处理腔形成双向锁止和内部解锁的作用；锁止组件，包括逆向解锁设备及联动锁闩；其中，逆向解锁设备安装于可视密封腔门（1）一侧的内壁中端，且与可视密封腔门（1）卡合，用于误锁情况下人员处于腔门内部解锁；联动锁闩安装于双向防锁腔（2）一侧外壁的中端，且通过设置的栓钮组件与双向防锁腔（2）内部连接，用于在可视密封腔门（1）关闭过程中对其锁定；所述逆向解锁设备与联动锁闩之间通过集成设置于可视密封腔门（1）内壁一端与可视密封腔门（1）另一端所安置的联动预警组件（3）配合起到防误锁作用。
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