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一种防误锁的等离子处理设备腔门结构 

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申请/专利权人:深圳市奥普斯等离子体科技有限公司

摘要:本实用新型涉及一种防误锁的等离子处理设备腔门结构,包括可视密封腔门,设置于等离子处理的机体上,双向防锁腔,位于可视密封腔门的内壁与等离子处理腔一侧中端,用于可视密封腔门与等离子设备腔体的锁止,使得锁止组件与等离子处理腔形成双向锁止和内部解锁的作用。本可视密封腔门结构与等离子设备之间设置有双向防锁腔,为了达到在腔门外部干预情况下,被误锁人员可实现自救的目的,通过在双向防锁腔的内壁开设解锁凹槽,被误锁人员不但可通过弹性锁头把手将其打开,也可通过拧动定位螺杆将锁止块解锁,让联动锁闩设备从等离子设备内框中滑出解锁,从而避免意外情况下,维护人员被误锁现象,提升等离子设备的使用安全。

主权项:1.一种防误锁的等离子处理设备腔门结构,其特征在于,包括:可视密封腔门(1),设置于等离子处理的机体上;双向防锁腔(2),位于可视密封腔门(1)的内壁与等离子处理腔一侧中端,用于可视密封腔门(1)与等离子设备腔体的锁止,使得锁止组件与等离子处理腔形成双向锁止和内部解锁的作用;锁止组件,包括逆向解锁设备及联动锁闩;其中,逆向解锁设备安装于可视密封腔门(1)一侧的内壁中端,且与可视密封腔门(1)卡合,用于误锁情况下人员处于腔门内部解锁;联动锁闩安装于双向防锁腔(2)一侧外壁的中端,且通过设置的栓钮组件与双向防锁腔(2)内部连接,用于在可视密封腔门(1)关闭过程中对其锁定;所述逆向解锁设备与联动锁闩之间通过集成设置于可视密封腔门(1)内壁一端与可视密封腔门(1)另一端所安置的联动预警组件(3)配合起到防误锁作用。

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