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申请/专利权人：河南省科学院激光制造研究所
摘要：本发明公开了一种激光隐切设备的加强结构，属于激光隐切技术领域，包括花岗岩基体，花岗岩基体的后侧面固定设置有激光光束传输系统模块，花岗岩基体和激光光束传输系统模块的下端面均固定设置有支撑体，两个支撑体的底端均与基座固定设置。本发明通过设置主动减震系统，使用时，在进行切割作业时，型材架产生的振动依次通过底座、基座、位移机构、主动减震系统和顶升装置传递到晶圆载物台上，使得晶圆载物台产生振动，影响晶圆片的切割精度，此时主动减震系统通过对振动的检测，然后根据检测的振动数据主动减震系统产生与晶圆载物台产生的振动相反的振动以抵消晶圆载物台产生的振动，使得晶圆载物台更稳定，提高晶圆片切割的精度。
主权项：1.一种激光隐切设备的加强结构，其特征在于：包括花岗岩基体（45），花岗岩基体（45）的后侧面固定设置有激光光束传输系统模块（46），花岗岩基体（45）和激光光束传输系统模块（46）的下端面均固定设置有支撑体（47），两个支撑体（47）的底端均与基座（48）固定设置，基座（48）通过阻尼件（49）固定设置有底座（50），围绕底座（50）设置有型材架（51），型材架（51）均与底座（50）固定设置，基座（48）的上端面设置有晶圆载物台（1），晶圆载物台（1）的底端固定设置有滑动平台（52），滑动平台（52）和基座（48）之间设置有位移机构，晶圆载物台（1）通过位移机构在X和Y轴上实现位移，晶圆载物台（1）的上方设置有隐切加工物镜的三维调整结构（53），晶圆载物台（1）和位移机构之间设置有主动减震系统，主动减震系统和晶圆载物台（1）之间设置有顶升装置，顶升装置用于实现晶圆载物台（1）在Z轴上的位移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南省科学院激光制造研究所 一种激光隐切设备的加强结构
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