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申请/专利权人:金宏气体股份有限公司
摘要:本发明公开一种汽化原料供应系统及方法,包括:原料瓶和水浴式汽化器,原料瓶的出口通过第一输送管线与水浴式汽化器内盘换热管的入口连通,水浴式汽化器内盘换热管的出口通过气相回流管线与原料瓶的入口连通,且水浴式汽化器内盘换热管的出口还通过第二输送管线与后级系统连通;水浴式汽化器内盘换热管从下至上依次为显热区、汽化区和过热区,原料瓶底部的所在平面不低于汽化区和过热区分界线所在平面。本发明无需设置外加动力源,当水浴式汽化器无法正常提供原料汽化所需能量或足够的换热面积时,液态原料不会直接进入后级系统破坏后级平衡,避免因此影响产品质量。
主权项:1.汽化原料供应系统,其特征在于,包括:原料瓶和水浴式汽化器,所述原料瓶的出口通过第一输送管线与水浴式汽化器内盘换热管的入口连通,所述水浴式汽化器内盘换热管的出口通过气相回流管线与原料瓶的入口连通,且所述水浴式汽化器内盘换热管的出口还通过第二输送管线与后级系统连通;所述水浴式汽化器内盘换热管从下至上依次为显热区、汽化区和过热区,所述原料瓶底部的所在平面不低于汽化区和过热区分界线所在平面。
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