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申请/专利权人：上海科弗新材料科技有限公司
摘要：本发明公开了一种低温钎焊工具用涂层的PVD制备方法及应用，其中制备方法包括如下步骤：A：预处理；B：反应腔处理：在腔体中设置至少两个坩埚，其中一个坩埚放置稀土元素，其余坩埚放置靶材，并至少匹配于坩埚数量设置电子枪，对反应腔室连续抽真空，将反应腔室的真空度抽到10～200毫托，并通入惰性气体进行排空处理；C：镀膜处理，至少执行一次如下工序：调节真空室的真空度为0.1～0.5Pa，处理过程中真空室的温度为150～350℃，对工具件施加的电压为50～350V，其中镀膜处理中的电子枪电流为0.45～0.75A，镀膜时间为30～90min；D：后处理：停止放电。本发明方案的PVD涂层技术有效地改善了低温钎焊工艺所造成的金刚石颗粒结合强度低的问题，具有良好的推广应用性。
主权项：1.一种低温钎焊工具用涂层的PVD制备方法，其特征在于，包括如下步骤：A：预处理：去除具有低温钎焊的金刚石镀层的工具件表面油污，再对除去油污后的工具件进行脱水处理；B：反应腔处理：在腔体中设置至少两个坩埚，其中一个坩埚放置稀土元素，其余坩埚放置靶材，并至少匹配于坩埚数量设置电子枪，将工具件放置于反应腔内，对反应腔室连续抽真空，将反应腔室的真空度抽到10～200毫托，并通入惰性气体进行排空处理；C：镀膜处理，至少执行一次如下工序：调节真空室的真空度为0.1～0.5Pa,，处理过程中真空室的温度为150～350℃，对工具件施加的电压为50～350V，其中镀膜处理中的电子枪电流为0.45～0.75A，镀膜时间为30～90min；D：后处理：停止放电，向反应腔室内进行充气、抽真空至少一轮，再通入空气至一个大气压即可。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海科弗新材料科技有限公司 低温钎焊工具用涂层的PVD制备方法及应用
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