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申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学
摘要：本申请公开了一种石墨烯双轴差分式谐振式加速度计，包括敏感质量块、谐振组件和中部镂空的固定框架，敏感质量块设置在固定框架的镂空区域内，在敏感质量块与固定框架之间沿X轴和Y轴方向分别设置谐振组件，每个谐振组件均包括H型梁、横梁和石墨烯带，横梁位于敏感质量块和固定框架之间且与所在轴方向垂直，横梁两端与固定框架固连，H型梁水平设置且两端分别连接敏感质量块和横梁，石墨烯带的两端分别搭接在横梁和固定框架上且与H型梁的开口端位置对应，在石墨烯带两端的上、下表面均分别设置电极和绝缘层。本申请利用H型梁与横梁组成的微杠杆结构传递惯性力，避免石墨烯与敏感质量块直接连接，减小切向加速度和重力对石墨烯谐振频率的影响。
主权项：1.一种石墨烯双轴差分式谐振式加速度计，其特征在于，包括固定框架1、敏感质量块2和谐振组件，所述固定框架1中部镂空，所述敏感质量块2设置在固定框架1的镂空区域内且二者共中心轴线，在所述敏感质量块2与固定框架1之间沿X轴和Y轴方向分别设置谐振组件，每个谐振组件均包括连接梁3、横梁4、绝缘层5、石墨烯带6和电极7；所述横梁4设置在敏感质量块2和固定框架1之间且与所在轴的方向垂直，所述横梁4的两端与固定框架1固连，所述连接梁3水平设置且两端分别连接敏感质量块2和横梁4，在所述横梁4和固定框架1上对应连接梁3端头位置处分别设置绝缘层5，所述石墨烯带6的两端分别搭接在两个绝缘层上，使中部悬空，在所述石墨烯带6两端的上表面分别设置电极7；所述横梁4的厚度大于连接梁3和敏感质量块2的厚度，所述连接梁3的轴向刚度大于切向刚度；所述连接梁3为H型梁，其中两根长梁的长度均大于宽度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 一种石墨烯双轴差分式谐振式加速度计
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