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申请/专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要：本发明涉及一种谐振器，包括衬底，所述衬底上形成有二氧化硅层，由所述二氧化硅层向上依次形成有若干压电单元，顶层所述压电单元上设有顶电极；每个所述压电单元包括中间电极和置于所述中间电极之上的压电薄膜，通过将不同所述压电单元的中间电极作为底电极，并在所述顶电极和所述底电极之间施加交流电信号来使谐振器工作在不同频率。本发明能够实现BAW谐振器的高阶谐振以及不同工作频率的调控。
主权项：1.一种谐振器，其特征在于，包括衬底，所述衬底上形成有二氧化硅层，由所述二氧化硅层向上依次形成有若干压电单元，顶层所述压电单元上设有顶电极；每个所述压电单元包括中间电极和置于所述中间电极上的压电薄膜，通过将不同所述压电单元的中间电极作为底电极，并在所述顶电极和所述底电极之间施加交流电信号来使谐振器工作在不同频率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种谐振器
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