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申请/专利权人：株式会社东芝

摘要：提供一种能获得测定对象物的电阻分布的电阻映射装置、电阻测定装置、电阻测定方法、程序及记录介质。电阻映射装置具备：第一芯片，具有第一面以及位于第一面的相反侧的第二面，在第一面设有多个第一电极；第二芯片，具有与第一面对置的第三面以及位于第三面的相反侧的第四面，在第三面设有与多个第一电极对应的多个第二电极；以及测定部，与多个第一电极和多个第二电极电连接，在第一芯片与第二芯片之间配置有测定对象物的状态下，能够在测定对象物中测定多个第一电极和多个第二电极中的相互对应的各第一电极与第二电极之间的部分的电阻，取得使电阻的测定值与在测定对象物中与多个第一电极分别对应的位置相关联的映射数据。

主权项：1.一种电阻映射装置，具备：第一芯片，具有第一面以及位于所述第一面的相反侧的第二面，在所述第一面设有多个第一电极，所述第一芯片还具有多个第一贯通电极，该多个第一贯通电极与所述多个第一电极分别电连接，并在从所述第一面朝向所述第二面的方向上延伸；第二芯片，具有与所述第一面对置的第三面以及位于所述第三面的相反侧的第四面，在所述第三面设有与所述多个第一电极对应的多个第二电极，所述第二芯片还具有多个第二贯通电极，该多个第二贯通电极与所述多个第二电极分别电连接，并在从所述第三面朝向所述第四面的方向上延伸；第一布线基板，安装于所述第二面，具有能够将所述多个第一贯通电极的每一个与测定部连接的多条第一布线、以及与所述多个第一贯通电极对应并且电连接的多条第三布线；第二布线基板，安装于所述第四面，具有能够将所述多个第二贯通电极的每一个与所述测定部连接的多条第二布线、以及与所述多个第二贯通电极对应并且电连接的多条第四布线；以及所述测定部，与所述多个第一电极和所述多个第二电极电连接，在所述第一芯片与所述第二芯片之间配置有测定对象物的状态下，能够测定所述多条第一布线和所述多条第二布线中的相互对应的各第一布线与第二布线之间的电流、以及所述多条第三布线和所述多条第四布线中的相互对应的各第三布线与第四布线之间的电压，基于所述电流的测定值以及所述电压的测定值，在所述测定对象物中测定所述多个第一电极和所述多个第二电极中的相互对应的各第一电极与第二电极之间的部分的电阻，取得使电阻的测定值与所述测定对象物中的和所述多个第一电极的每一个对应的位置相关联的映射数据。

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百度查询： 株式会社东芝 电阻映射装置、电阻测定装置、电阻测定方法、程序以及记录介质