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申请/专利权人：杭州弘晟智能科技有限公司
摘要：本申请公开了一种气动真空蝶阀及其控制方法，该控制方法应用于气动真空蝶阀，气动真空蝶阀应用于单晶炉，气动真空蝶阀包括阀体和用于控制阀体开度的蝶板，气动真空蝶阀的控制方法包括：获取单晶炉内的当前真空度；根据当前真空度和预设的目标真空度确定开度改变量；根据开度改变量生成控制信号；根据控制信号控制蝶板转动。通过上述设置，提高了气动真空蝶阀的调节速度和准确性。
主权项：1.一种气动真空蝶阀的控制方法，所述气动真空蝶阀应用于单晶炉，所述气动真空蝶阀包括阀体和用于控制所述阀体开度的蝶板，其特征在于，所述气动真空蝶阀的控制方法包括：获取所述单晶炉内的当前真空度；根据所述当前真空度和预设的目标真空度确定开度改变量；根据所述开度改变量生成控制信号；根据所述控制信号控制所述蝶板转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州弘晟智能科技有限公司 气动真空蝶阀及其控制方法
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