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申请/专利权人：广东优巨先进新材料股份有限公司;优巨新材料有限公司
摘要：本发明公开了一种氟掺杂二氧化硅材料，按重量百分比计，包括以下化学组分：硅的氧化物89~93%、氧化铝1~3%、氧化镁0.05~0.2%、氧化钙0.5~2%、三氧化二铁1.7~4%、氟元素3~5%；其中，氟元素通过Si‑F键链接；并且，氟掺杂二氧化硅材料由200~500纳米的类球型颗粒团聚而成。本发明通过采用含镁沸石碱酸处理，再与氟化铵反应，最后煅烧后得到改性二氧化硅材料。本发明的改性二氧化硅材料具有低介电的优点。
主权项：1.一种氟掺杂二氧化硅材料，其特征在于，按重量百分比计，包括以下化学组分：硅的氧化物89~93%、氧化铝1~3%、氧化钙0.5~2%、三氧化二铁1.7~4%、氧化镁0.05~0.2%、氟元素3~5%；其中，氟元素通过Si-F键与硅的氧化物链接；并且，氟掺杂二氧化硅材料由200~500纳米的类球型颗粒团聚而成。
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权利要求：
百度查询： 广东优巨先进新材料股份有限公司 优巨新材料有限公司 一种氟掺杂二氧化硅材料及其制备方法和应用
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