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申请/专利权人：天津大学
摘要：本公开提供了一种薄膜厚度在线测量方法、薄膜厚度预测模型的训练方法、装置、设备和存储介质。薄膜厚度在线测量方法包括：获取待测薄膜在T个加工时刻各自的初始反射光谱数据，初始反射光谱数据与待测薄膜在加工时刻的当前薄膜厚度相关联；对初始反射光谱数据进行预处理，得到目标反射光谱数据；将预设掩码数据和目标反射光谱数据输入至薄膜厚度预测模型，得到待测薄膜在加工时刻的当前薄膜厚度预测值及与当前薄膜厚度预测值相对应的第一置信度，薄膜厚度预测模型是基于自注意力模型和多层双向长短时记忆模型构建的；以及根据预设置信度阈值及T个加工时刻各自的当前薄膜厚度预测值和第一置信度，确定待测薄膜的薄膜厚度在线测量结果。
主权项：1.一种薄膜厚度在线测量方法，包括：获取待测薄膜在T个加工时刻各自的初始反射光谱数据，其中，所述初始反射光谱数据与所述待测薄膜在所述加工时刻的当前薄膜厚度相关联，T为正整数；对于每个所述加工时刻，对所述初始反射光谱数据进行预处理，得到目标反射光谱数据；对于每个所述加工时刻，将预设掩码数据和所述目标反射光谱数据输入至薄膜厚度预测模型，得到所述待测薄膜在所述加工时刻的当前薄膜厚度预测值，以及与所述当前薄膜厚度预测值相对应的第一置信度，其中，所述薄膜厚度预测模型是基于自注意力模型和多层双向长短时记忆模型构建的；以及根据预设置信度阈值，以及所述T个加工时刻各自的当前薄膜厚度预测值和第一置信度，确定所述待测薄膜的薄膜厚度在线测量结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学 薄膜厚度在线测量方法、薄膜厚度预测模型的训练方法、装置、设备和存储介质
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