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含铪化合物溶胶凝胶液及含氧化铪膜 

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申请/专利权人:三菱综合材料株式会社

摘要:含铪化合物溶胶凝胶液含有成为溶剂的醇及成为氧化铪源的铪化合物,并且含有选自Zr、Ti及Nb中的一种或两种以上的元素M,所述元素M的含量WM与作为金属成分的Hf的含量WHf的质量比WMWHf在0.2%以上且5.0%以下的范围内。含有氧化铪HfO2,并且含有选自Zr、Ti及Nb中的一种或两种以上的元素M,所述元素M的含量WM与所述HfO2的含量WHfO2的质量比WMWHfO2在0.05%以上且5.0%以下的范围内。

主权项:1.一种含铪化合物溶胶凝胶液,含有成为溶剂的醇及成为氧化铪源的铪化合物,其特征在于,所述含铪化合物溶胶凝胶液含有选自Zr、Ti及Nb中的一种或两种以上的元素M,所述元素M的含量WM与作为金属成分的Hf的含量WHf的质量比WMWHf在0.2%以上且5.0%以下的范围内。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三菱综合材料株式会社 含铪化合物溶胶凝胶液及含氧化铪膜

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