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申请/专利权人：意诚新能(苏州)科技有限公司
摘要：本发明公开了一种超薄硅片的夹持装置，包括结构主体，所述结构主体包括夹持底座及载物架底座，所述夹持底座与所述载物架底座相连，所述夹持底座与所述载物架底座均设有滑轨，所述夹持底座一侧设有伺服电机，所述夹持底座还设有夹持架，所述载物架底座设有呈拱形的载物架，所述夹持架的中部穿设有连接杆，所述夹持架还设有第一夹持机构及第二夹持机构，所述第一夹持机构与所述第二夹持机构对称设于所述夹持架的两侧，且所述第一夹持机构与所述第二夹持机构均包括若干夹持件，本申请在的夹持的过程中具有高效、稳定的效果，还能防止由于夹持力度过大而导致的硅片损坏的情况发生。
主权项：1.一种超薄硅片的夹持装置，其特征在于，包括结构主体，所述结构主体包括夹持底座及载物架底座，所述夹持底座与所述载物架底座相连，所述夹持底座与所述载物架底座均设有滑轨，所述夹持底座一侧设有伺服电机，所述夹持底座还设有夹持架，所述载物架底座设有呈拱形的载物架，所述夹持架的中部穿设有连接杆，所述夹持架还设有第一夹持机构及第二夹持机构，所述第一夹持机构与所述第二夹持机构对称设于所述夹持架的两侧，且所述第一夹持机构与所述第二夹持机构均包括若干夹持件；所述连接杆内部套设有转动轴，所述连接杆与所述转动轴活动连接，所述转动轴与所述伺服电机啮合连接，且所述转动轴连接所述夹持件，所述转动轴与所述夹持件的连接处设有夹持控制器，且所述夹持控制器两侧设有轴承，所述夹持件由夹爪、顶升器及真空发生器组成，所述真空发生器两侧设有定位传感器，所述顶升器与所述夹爪之间设有中空套筒，所述顶升器内置有推动器，且所述夹爪还设有真空吸嘴；所述连接杆底部分别设有第一控制器及第二控制器，所述第一控制器与所述第二控制器的两侧设有滑板，所述滑板与所述连接杆焊接，所述第一控制器内置有控制单元芯片，所述控制单元芯片用于接收所述定位传感器的信号，并通过CAN接口电路形成输出伺服电机控制信号，所述第一控制器与所述夹持控制器控制连接，所述第二控制器分别与所述真空发生器及所述定位传感器控制连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 意诚新能(苏州)科技有限公司 一种超薄硅片的夹持装置
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