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申请/专利权人：天津大学四川创新研究院;四川莱仪特天瓴科技有限公司
摘要：本发明涉及曲面多层结构厚度测量技术领域，公开了一种基于太赫兹时域光谱的曲面多层结构厚度测量方法机系统，其方法包括：对厚度测量装置进行校准，所述厚度测量装置包括机械臂、太赫兹发射器、太赫兹接收器和激光传感器；设定所述厚度测量装置的测量参数和待测样品的样品信息；根据所述测量参数和样品信息控制所述厚度测量装置对待测样品进行测量，获得待测样品的太赫兹时域光谱数据；对所述太赫兹时域光谱数据进行核主成分分析，并基于改进型麻雀搜索算法优化的支持向量机确定待测样品的涂层层数和厚度。本发明允许在可变条件下实现高精度和强鲁棒性，术能够实现多层厚度的实时、精确监测。
主权项：1.基于太赫兹时域光谱的曲面多层结构厚度测量方法，其特征在于，所述方法包括：对厚度测量装置进行校准，所述厚度测量装置包括机械臂、太赫兹发射器、太赫兹接收器和激光传感器；设定所述厚度测量装置的测量参数和待测样品的样品信息；根据所述测量参数和样品信息控制所述厚度测量装置对待测样品进行测量，获得待测样品的太赫兹时域光谱数据；对所述太赫兹时域光谱数据进行核主成分分析，并基于改进型麻雀搜索算法优化的支持向量机确定待测样品的涂层层数和厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津大学四川创新研究院 四川莱仪特天瓴科技有限公司 基于太赫兹时域光谱的曲面多层结构厚度测量方法及系统
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