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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：一种基于弯曲变形致动的中空式三自由度压电摆镜，涉及激光光束精密定位技术领域，解决传统的压电摆镜输出自由度较少和缺少透光通孔的问题。压电摆镜包括：底座、柔性铰链、镜架、驱动杆、弯曲压电驱动器、第二螺栓；底座为内部中空的三角体结构，三角体的三个顶端设有通孔，三个弯曲压电驱动器一侧沿周向均匀紧贴底座内侧面，另一侧紧贴驱动杆；弯曲压电驱动器中间设有通孔，第二螺栓通过底座顶部通孔和弯曲压电驱动器通孔将弯曲压电驱动器固定在底座上；驱动杆一端与弯曲压电驱动器连接，另一端与柔性铰链固定连接；柔性铰链另一端与位于底座轴心的镜架固定连接；镜架中间设有通孔。本发明适用于激光通讯、移相干涉测量和透光光学器件定位。
主权项：1.一种基于弯曲变形致动的中空式三自由度压电摆镜，其特征在于，所述压电摆镜包括：底座1、柔性铰链2、镜架3、驱动杆5、弯曲压电驱动器6、第二螺栓8；所述底座1为内部中空的三角体结构，所述三角体的三个顶端设有通孔，三个弯曲压电驱动器6的一侧沿周向均匀紧贴底座1内侧面，另一侧紧贴驱动杆5；所述弯曲压电驱动器6中间设有通孔，所述第二螺栓8通过底座1顶部通孔和弯曲压电驱动器6通孔，以夹心式方式将弯曲压电驱动器6固定在底座1上；所述驱动杆5一端与弯曲压电驱动器6连接，另一端与柔性铰链2固定连接；所述柔性铰链2另一端与位于底座1轴心的镜架3固定连接；所述镜架3中间设有通孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 一种基于弯曲变形致动的中空式三自由度压电摆镜及偏转方法
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