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申请/专利权人：厦门韫茂科技有限公司
摘要：本发明提供了一种用于大尺寸SIC外延的进气气路系统，涉及半导体加工技术领域。包括多条进气管路、中心主管路、第一边缘管路和第二边缘管路、工艺腔室，所述中心主管路与所述第一边缘管路和第二边缘管路上均连接有第一混流管，若干条所述进气管路连接至每个所述第一混流管内，进气管路上均设置有控制阀；与所述中心主管路连通的第一混流管连接有一支路以连通至工艺腔室内；与所述第一边缘管路和第二边缘管路连通的第一混流管分别连接有至少两条支路以连接至所述工艺腔室内。通过本方案可以保证载气、生长源和掺杂源气体在进入工艺腔室前充分混合，以确保工艺时气体的均匀性，提高外延工艺结果。
主权项：1.一种用于大尺寸SIC外延的进气气路系统，包括多条进气管路以及工艺腔室，其特征在于，还包括：输入管路，所述输入管路包括中心主管路、第一边缘管路和第二边缘管路，所述中心主管路与所述第一边缘管路和第二边缘管路上均连接有第一混流管，若干条所述进气管路连接至每个所述第一混流管内，其在每条进气管路上均设置有控制阀以控制其对应的进气管路与所述第一混流管连通或者断开，以控制进入所述第一混流管内的气体的类型和数量，且当多条进气管路均与所述第一混流管连通时，从进气管路通入的气体适于在所述第一混流管内混合；与所述中心主管路连通的第一混流管连接有一支路以连通至工艺腔室内；与所述第一边缘管路和第二边缘管路连通的第一混流管分别连接有至少两条支路以连接至所述工艺腔室内，多条所述支路连接至所述工艺腔室的不同位置，提高反应结果的均匀性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 厦门韫茂科技有限公司 一种用于大尺寸SIC外延的进气气路系统
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