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申请/专利权人：深圳市奥伦德元器件有限公司
摘要：本发明涉及一种基于镓铝砷外延合金及其制备方法，包括：镓铝砷外延层；第一氧化层，第一氧化层包括多个经一次光刻形成的第一窗口和第一凸块，第一窗口与所述第一凸块间隔分布；第一金属层；第二氧化层，第二氧化层包括多个经二次光刻形成的第二窗口和第二凸块，第二窗口与所述第二凸块间隔分布，第一窗口与第二窗口的垂直方向上错位排列；第二金属层。基于镓铝砷外延合金通过高致密性的氧化层去改善镓铝砷外延与金属层接触的合金方法，具有优良的金属与镓铝砷材料键合性能，改善金属层与外延层之间的欧姆接触，降低电极脱落的风险。
主权项：1.一种基于镓铝砷外延合金，其特征在于，包括：镓铝砷外延层（100）；第一氧化层（200），所述第一氧化层（200）设置在所述镓铝砷外延层（100）的上方，所述第一氧化层（200）包括多个经一次光刻形成的第一窗口（210）和第一凸块（220），所述第一窗口（210）与所述第一凸块（220）间隔分布；第一金属层（300），所述第一金属层（300）设置在所述第一氧化层（200）的上方；第二氧化层（400），所述第二氧化层（400）设置在所述第一金属层（300）的上方，所述第二氧化层（400）包括多个经二次光刻形成的第二窗口（410）和第二凸块（420），所述第二窗口（410）与所述第二凸块（420）间隔分布，所述第一窗口（210）与所述第二窗口（410）的垂直方向上错位排列；第二金属层（500），所述第二金属层（500）设置在所述第一氧化层（200）的上方。
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