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申请/专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要：一种双光纤点衍射面形测量仪，由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、第一理想波前产生单元、聚焦透镜一、第二理想波前产生单元、聚焦透镜二、分束镜、被测镜、成像透镜、探测器、数据处理单元组成。本发明的特点是测量精度高、干涉条纹密度可调节、不需要标准镜、干涉对比度可调节、相移单元在成像光路之外、可测不同反射率待测镜的优点。
主权项：1.一种双光纤点衍射面形测量仪，包括：光传输模块，被配置为一路光程可调光路和另一光程固定光路；第一理想波前产生单元，用于接收所述光传输模块输出的光程可调光束，并产生第一标准波前；第二理想波前产生单元，用于接收所述光传输模块输出的光程固定光束，并产生第二标准波前；其特征在于，还包括：位于所述光程可调光路上的可补偿光程差的相移器；所述第一标准波前经第一聚焦透镜6聚焦后，入射至分束镜10，经该分束镜10透射后，经成像透镜11汇聚至探测器12的表面，作为标准光；所述第二标准波前经第二聚焦透9聚焦后，入射至分束镜10，经该分束镜10透射后，入射至待测模块，经该待测模块反射后，再次入射至所述分束镜10，经该分束镜10反射后，经所述成像透镜11汇聚至探测器12的表面，作为测试光；所述标准光和所述测试光相互叠加产生干涉，用于监测；所述待测模块为待测平面镜14，或者，为汇聚镜15和待测球面镜16；通过调节光程可调光路和光程固定光路的光强和偏振态，确保高干涉对比度，通过移动所述相移器，获取多幅干涉图，从而解析得到相位信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海光学精密机械研究所 双光纤点衍射面形测量仪
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