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一种折射率梯度渐变的减反射薄膜及其制备方法 

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申请/专利权人:浙江大学;浙江省白马湖实验室有限公司

摘要:本发明提供了一种折射率梯度渐变的减反射薄膜及其制备方法,属于太阳电池领域。本发明首先制备了一系列溶胶,包括:二氧化钛实心颗粒、二氧化硅实心颗粒、二氧化硅空心颗粒。然后利用一定的成膜方式将不同溶胶依次成膜得到减反射薄膜,从基底到空气依次为二氧化钛实心颗粒层、二氧化硅实心颗粒层、二氧化硅空心颗粒层,折射率逐渐降低以实现折射率梯度变化的效果,从而在宽波段内表现出更好的减反射性能。

主权项:1.一种折射率梯度渐变的减反射薄膜,其特征在于,所述减反射薄膜包括从太阳电池基底到空气依次设置的二氧化钛实心颗粒层、二氧化硅实心颗粒层、二氧化硅空心颗粒层;所述二氧化钛实心颗粒层的折射率为1.9~2.2,所述二氧化硅实心颗粒层的折射率为1.4~1.6,所述二氧化硅空心颗粒层的折射率为1.1~1.3,实现折射率梯度变化的效果。

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权利要求:

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