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申请/专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司
摘要：本实用新型涉及晶圆传输技术领域，具体涉及一种针对超薄晶圆片的伯努利手指，包括手指主体，还包括手指气道密封片，所述手指主体呈Y形，所述手指气道密封片固定安装在手指主体侧部，所述手指主体上固定安装有加强筋，所述手指主体与手指气道密封片之间设置有真空吸附组件与伯努利吸附组件，本实用新型的有益效果是：可很好的插入到料盒内，从超薄晶圆片的侧方位对其进行吸附，而且可根据伯努利原理，使手指主体端部产生高流速气体，从而降低压强，产生吸力，配合真空吸附，从而可对超薄晶圆片双重吸附，有效提高对超薄晶圆片吸附的牢固性，有利于超薄晶圆片转运的稳定性。
主权项：1.一种针对超薄晶圆片的伯努利手指，包括手指主体1，其特征在于：还包括手指气道密封片2，所述手指主体1呈Y形，所述手指气道密封片2固定安装在手指主体1侧部，所述手指主体1上固定安装有加强筋3，所述手指主体1与手指气道密封片2之间设置有真空吸附组件与伯努利吸附组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 睿励科学仪器(上海)有限公司 一种针对超薄晶圆片的伯努利手指
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