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一种基于7 nm FinFET工艺下标准单元版图结构 

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申请/专利权人:合芯科技(苏州)有限公司;合芯科技有限公司

摘要:本申请提供了一种基于7nmFinFET工艺下标准单元版图结构,包括一个或多个标准单元,所述标准单元的高度为0.6μm,包括第三金属层,第三金属层设置有电源线、地线和第一信号线;其中,电源线、地线和第一信号线设置为两组阻值不同的金属线,第一信号线排布于所述电源线和地线之间;第一信号线的线宽包括第一线宽、第二线宽和第三线宽中至少一个。本申请通过提供了多种M2层信号线的布线方式,有效避免了因M2层信号线走线不足需绕线到上层金属线的工作,缩短了总走线的长度,减小了版图结构的整体面积,降低了芯片功耗。

主权项:1.一种基于7nmFinFET工艺下标准单元版图结构,其特征在于,包括一个或多个标准单元,所述标准单元的高度为0.6μm,包括第三金属层,所述第三金属层设置有电源线、地线和第一信号线;其中,所述电源线、所述地线和所述第一信号线设置为两组阻值不同的金属线,所述第一信号线排布于所述电源线和所述地线之间;所述第一信号线的条数为7至10条中的任意数目,相邻两条所述第一信号线的阻值不同;所述第一信号线的线宽包括第一线宽、第二线宽和第三线宽中至少一个,所述第一线宽为0.024μm,所述第二线宽为0.020μm,所述第三线宽为0.040μm;所述第一信号线的总高度≤0.490μm;所述电源线和所述地线的宽度为0.04μm;所述第一信号线至所述电源线的最短距离为0.058μm或0.096μm,所述第一信号线至所述地线的最短距离为0.056μm或0.058μm。

全文数据:

权利要求:

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