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申请/专利权人：新加坡国立大学
摘要：一种半导体标准具装置，包含设置在晶片上或晶片内的光电探测器；第一反射器；以及与第一反射器平行并与之隔开的第二反射器；所述第一反射器和所述第二反射器分别包含光子晶体，并且相对于所述晶片排列并与所述晶片间隔，并且与所述光电探测器的感光部分成至少部分重叠关系。
主权项：1.一种半导体标准具装置，包含：设置在晶片上或晶片内的光电探测器；第一反射器；平行于所述第一反射器并与之隔开的第二反射器；和用于调整所述第一反射器和所述第二反射器之间的间距的静电激发器，所述静电激发器具有V形，其中所述第一反射器和所述第二反射器分别包含一个光子晶体，相对于所述晶片排列并与所述晶片间隔，并且与所述光电探测器的感光部分至少有部分重叠关系，所述装置包含用于支撑所述第一反射器和所述第二反射器的支撑结构，所述支撑结构具有一个孔，通过该孔来曝光所述光电探测器的感光部分，其中所述第二反射器的所述光子晶体包括中心光子晶体，所述静电激发器移动所述中心光子晶体。
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权利要求：
百度查询： 新加坡国立大学 半导体标准具装置及制造方法
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