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一种单晶硅棒清洗脱胶装置 

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申请/专利权人:无锡京运通科技有限公司

摘要:本发明涉及半导体技术领域,具体为一种单晶硅棒清洗脱胶装置,包括M型支撑架以及脱胶筒,M型支撑架上有往复电机、螺杆、推送板以及转动轴;转动轴一端有吸盘、弹簧电极、夹持板和硅棒;脱胶筒的内侧有磁铁板,脱胶筒的一侧有储水箱。本发明往复电机通过螺杆传动推送板将硅棒送入脱胶筒后,硅棒两端会与转动轴一侧的弹簧电极相抵,硅棒通电其内部会产生焦耳热,硅棒内部的温度会升高,进而使硅棒表面的胶体均匀受热并熔化,硅棒通电的同时也会产生磁场,此时硅棒在两侧磁铁板的作用下转动将融化后的胶体甩落,采用硅棒自身发热的方式对胶体进行加热,提高胶体受热的均匀度同时也提高了脱胶效率。

主权项:1.一种单晶硅棒清洗脱胶装置,包括M型支撑架1以及固定安装在所述M型支撑架1上的脱胶筒2,其特征在于:所述M型支撑架1上固定安装有往复电机3,所述往复电机3的输出端通过皮带转动连接有螺杆4,所述螺杆4上滑动设置有推送板5,所述脱胶筒2以及所述推送板5的中部均通过轴承转动连接有转动轴6;所述转动轴6一端固定安装有吸盘62,所述吸盘62的内部固定安装有弹簧电极63,所述弹簧电极63通过导线与外部电源电性连接,靠近所述推送板5的转动轴6上固定设置有夹持板64,所述夹持板64的内部固定安装有硅棒7,所述硅棒7通过所述推送板5滑动设置在所述M型支撑架1的上侧以及所述脱胶筒2的内部,所述硅棒7滑动到所述脱胶筒2的内部后,两个所述吸盘62与所述硅棒7的两端相抵;所述脱胶筒2的内侧固定设置有磁铁板8,所述磁铁板8分布在所述硅棒7的两侧,所述脱胶筒2的一侧固定设置有储水箱9,所述储水箱9上固定安装有若干个水泵10,所述水泵10的输出端固定安装有水管11,所述水管11延伸到所述脱胶筒2的内部,所述脱胶筒2的底端开设有斜槽21,所述斜槽21的一端滑动设置有封堵板22,所述脱胶筒2对应所述封堵板22的底侧通过螺栓安装有S型支撑板23,所述S型支撑板23上固定设置有电极柱24,所述电极柱24与所述斜槽21相对应,所述电极柱24通过导线串联于所述水泵10的电源电路中。

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