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申请/专利权人：深圳中机新材料有限公司
摘要：本发明提供了一种用于碳化硅衬底研磨用单晶钻石液的制备方法，其中制备方法包括以下步骤：S1、配料和准备；S2、混合过程；S3、调整和测试；S4、包装和存储。本发明有别于传统的单晶钻石液，该研磨液搭配铸铁盘使用，并且采用水基体系，加入了聚丙烯酸改性的三维立体悬浮剂，确保单晶金刚石颗粒能均匀分布，并且能形成稳定液膜，提高研磨速率，从传统的0.5ummin提高到1.0ummin以上；该体系采用了亚硝酸盐、磷酸盐、硅酸盐做为分散剂及防锈剂，确保金刚石颗粒的分散性能，避免软团聚的形成；并采用了超尺寸颗粒分离技术，对超大颗粒金刚石进行分离，避免了划伤不良；采用高速乳化分散头对水基体系进行搅拌分散，确保了液体的均一性。
主权项：1.一种用于碳化硅衬底研磨用单晶钻石液，其特征在于，包括纳米级单晶钻石颗粒、磨料、添加剂、三维立体悬浮剂、分散剂以及防锈剂和余量液体；所述纳米级单晶钻石颗粒通过化学气相沉积方法制备；所述磨料包括：碳化硅磨料、氮化硅磨料和金刚石磨料；所述添加剂包括：润滑剂、防腐剂、PH调节剂、抗乳化剂、冷却剂、抗氧化剂、增稠剂、粘度调节剂、表面活性剂、染料和防臭剂；所述三维立体悬浮剂加入了聚丙烯酸改性；所述分散剂以及防锈剂采用了亚硝酸盐、磷酸盐和硅酸盐；所述液体包括：自来水、蒸馏水、去离子水、超纯水、反渗透水和电解水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳中机新材料有限公司 一种用于碳化硅衬底研磨用单晶钻石液的制备方法
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