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申请/专利权人:乐山市京运通半导体材料有限公司
摘要:本实用新型提供了一种单晶炉用降氧保温装置,包括保温筒,所述保温筒包括从上到下依次连接的上保温筒、中保温筒和下保温筒,且上保温筒、中保温筒和下保温筒的内径依次扩大,所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的侧壁内设有抽成真空的环形真空槽,所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的侧壁内侧面上设有热反射层,且从上到下的热反射层在水平方向上的宽度依次扩大。
主权项:1.一种单晶炉用降氧保温装置,包括保温筒,所述保温筒包括从上到下依次连接的上保温筒1、中保温筒2和下保温筒3,且上保温筒1、中保温筒2和下保温筒3的内径依次扩大,其特征在于,所述上保温筒1、中保温筒2和下保温筒3的侧壁内设有抽成真空的环形真空槽4,所述上保温筒1、中保温筒2和下保温筒3的侧壁内侧面上设有热反射层6,且从上到下的热反射层6在水平方向上的宽度依次扩大。
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权利要求:
百度查询: 乐山市京运通半导体材料有限公司 一种单晶炉用降氧保温装置
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