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申请/专利权人：一塔半导体(安徽)有限公司
摘要：本发明公开了一种多片行星式MOCVD设备的卫星盘转速测量方法及系统，涉及半导体制造设备领域。该方法包括以下步骤：获取母盘相对初始位置的旋转角度；将所述旋转角度与预存的识别角度进行匹配；当匹配成功后，获取在测距传感器下的当前所述卫星盘的身份信息；获取在所述测距传感器下的当前所述卫星盘的高度信息；将获取的所述卫星盘的高度信息与预存的所述卫星盘的高度信息进行匹配，当匹配成功后获取当前所述卫星盘的转速。解决了目前测量卫星盘转速时只能得到卫星盘的一个代表值，而无法快速准确得知每个卫星盘的转速的问题。
主权项：1.一种多片行星式MOCVD设备的卫星盘转速测量方法，其特征在于，包括如下步骤：获取母盘相对初始位置的旋转角度；将所述旋转角度与预存的识别角度进行匹配；当匹配成功后，则根据所述识别角度以及预存的所述识别角度与所述卫星盘的身份信息的对应关系获取在测距传感器下的当前所述卫星盘的身份信息；获取在所述测距传感器下的当前所述卫星盘的高度信息；将获取的所述卫星盘的高度信息与预存的所述卫星盘的高度信息进行匹配，当匹配成功后根据获取的所述卫星盘的高度信息以及预存的所述卫星盘的高度信息与转速对应关系获取当前所述卫星盘的转速；当所述母盘带着所述卫星盘持续旋转时重复上述所有步骤，获取所述母盘上所有所述卫星盘各自的转速。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 一塔半导体(安徽)有限公司 一种多片行星式MOCVD设备的卫星盘转速测量系统及方法
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