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一种电子级双氧水的制备工艺和系统 

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申请/专利权人:平湖石化有限责任公司

摘要:本发明涉及双氧水生产制备技术领域,特别涉及一种电子级双氧水的制备工艺和系统,制备系统包括顺次连接的双氧水原料储罐、第一树脂吸附单元、电子级双氧水原料储罐、膜过滤单元、初级成品储罐、第二树脂吸附单元、成品中间储罐、第二过滤器和成品储罐;制备工艺包括如下步骤:将工业级双氧水经过减压精馏、阴离子脱附、TOC除碳、反渗透除杂、阴阳离子混床、精滤得到电子级双氧水。以上制备工艺制的电子级双氧水TOC杂质小于20ppm,微量金属元素小于0.1ppb,质量好,且生产过程能耗小。

主权项:1.一种电子级双氧水的制备系统,其特征在于:所述制备系统包括顺次连接的双氧水原料储罐1、第一树脂吸附单元、电子级双氧水原料储罐2、膜过滤单元、初级成品储罐3、第二树脂吸附单元、成品中间储罐4、第二过滤器18和成品储罐5;所述第一树脂吸附单元包括顺次连接的若干个串联的TOC纯化树脂床6和第一过滤器7;所述膜过滤单元包括顺次连接的若干个并联的一级RO膜8、电子级双氧水中间储罐9和二级RO膜10;所述第二树脂吸附单元包括顺次连接的阳离子树脂床11、阴离子树脂床12和阴阳离子混合树脂床13。

全文数据:

权利要求:

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