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申请/专利权人：成都旋极星源信息技术有限公司
摘要：本实用新型属于功率放大器芯片生产技术领域，尤其涉及一种功率放大器芯片生产用接触式光刻机，包括底板和支撑柱，所述支撑柱固定连接于底板的上侧后端中间位置，所述支撑柱的上端前方固定连接有光刻主体，所述底板的上端连接有加工机构，所述加工机构包括防护单元和调节单元。该功率放大器芯片生产用接触式光刻机，在使用时，先将待光刻芯片放置于托板之上后，再启动第一电机和第二电机带动第一螺纹杆和第二螺纹杆一同转动，使得第一滑动块位于横向导轨的内侧滑动，第二滑动块位于纵向导轨的内侧滑动，直至上端托板之上的芯片移动至光刻主体下方对应光刻位置后，接着开启光刻主体对芯片进行光刻加工。
主权项：1.一种功率放大器芯片生产用接触式光刻机，包括底板1和支撑柱2，所述支撑柱2固定连接于底板1的上侧后端中间位置，其特征在于：所述支撑柱2的上端前方固定连接有光刻主体3，所述底板1的上端连接有加工机构，所述加工机构包括防护单元和调节单元，所述防护单元设置于底板1的上端，所述调节单元设置于底板1的上侧中间位置；所述防护单元包括护罩401、左护门402、右护门403、矩形框404、弹簧405、插杆406、拉板407、固定框408和握把409，所述护罩401固定连接于底板1的上侧边缘处，所述左护门402通过铰链铰接于护罩401的左端前方，所述右护门403通过铰链铰接于护罩401的右端前方，所述矩形框404固定连接于左护门402的前侧右端中间位置，所述弹簧405固定连接于矩形框404的内侧左端，所述插杆406固定连接于弹簧405的右端，所述拉板407固定连接于插杆406的前侧左端，所述固定框408固定连接于右护门403的前侧左端中间位置，所述握把409固定连接于左护门402前侧右端和右护门403前侧左端的中间位置。
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权利要求：
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