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申请/专利权人：昆山荣源鑫业机械科技有限公司
摘要：本实用新型属于半导体加工装置技术领域，具体涉及一种半导体设备真空转接座表面喷涂装置，解决了现有技术中存在喷涂时无法居中，不方便检修的问题，包括防护罩，所述防护罩的内部通过螺丝固定连接有四个对称布置的支撑板，四个所述支撑板的内部共同转动安装有两个对称布置的横杆，两个所述横杆的外周面上均固定套设有转动辊，两个所述转动辊的外周面上共同套设有传送带，其中两个所述支撑板上共同设置有定位装置，通过半齿轮、齿条架等结构的设置，启动电机以后，电机带动传送带转动，同时带动半齿轮转动，半齿轮带动齿条架来回往复移动，将传送带上的工件推动至居中，使喷漆效果更均匀。
主权项：1.一种半导体设备真空转接座表面喷涂装置，包括防护罩1，其特征在于：所述防护罩1的内部通过螺丝固定连接有四个对称布置的支撑板4，四个所述支撑板4的内部共同转动安装有两个对称布置的横杆12，两个所述横杆12的外周面上均固定套设有转动辊，两个所述转动辊的外周面上共同套设有传送带11，其中两个所述支撑板4上共同设置有定位装置；所述定位装置包括安装板5，所述安装板5焊接在其中一个所述支撑板4的一侧，所述支撑板4的内部固定套设有顶杆20，所述安装板5的顶部安装有电机6，所述电机6的输出端通过联轴器连接有同轴设置的主动轮7，其中一个所述横杆12的一端固定套设有从动轮8，另外一个所述支撑板4的内部转动安装有立杆13，所述横杆12和所述立杆13的一端均焊接有锥齿轮，所述立杆13的另一端固定套设有半齿轮16，另外一个所述支撑板4的顶部通过螺丝固定连接有两个对称布置的固定块14，两个所述固定块14的内部共同滑动装配有齿条架15，所述顶杆20和所述齿条架15的一侧均焊接有推板10；所述防护罩1的顶部通过螺丝固定连接有安装架18，所述安装架18的顶部焊接有储料箱17，所述安装架18的顶部安装有两个对称布置的抽液泵，所述安装架18的内部通过螺丝连接有两个对称布置的喷头管19，所述抽液泵和所述储料箱17上共同固定套设有通管，所述抽液泵和所述喷头管19上共同固定套设有出料管。
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