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申请/专利权人：北京超材信息科技有限公司
摘要：本发明公开一种复合衬底及其制作方法和应用。复合衬底包括依次层叠设置的单晶硅基板、多晶硅层、二氧化硅层和压电薄膜；所述多晶硅层的厚度为0.05×λ至3.0×λ，其中，λ是所述复合衬底的声波的主模式波长；所述二氧化硅层的厚度为0.05×λ至1.0×λ。本发明的复合衬底利用硅材料得到电性能稳定，同时该复合衬底适配高规格电器元件且效能高。
主权项：1.一种声表面波滤波器，其特征在于，包括：复合衬底，包括依次层叠设置的单晶硅基板、多晶硅层、二氧化硅层和压电薄膜；和叉指换能器，设置于所述复合衬底远离所述单晶硅基板的表面，其包括多个电极指；其中，所述多晶硅层的厚度为0.05×λ至3.0×λ，其中，λ是所述复合衬底的声波的主模式波长；所述二氧化硅层的厚度为0.05×λ至1.0×λ；所述叉指换能器包括：缓冲层，设置在所述压电薄膜上，所述缓冲层包括金属钛，在将所述叉指换能器的IDT电极的电极周期所确定的弹性波的波长设为λ时，所述缓冲层的厚度为0.5％λ以下；和金属层，设置在所述缓冲层远离压电层的表面上，所述金属层包括铝,所述金属层的厚度范围在1％λ-30％λ之间，所述铝的含量在95wt％以上，所述金属层还包括选自Cu、W、Mo、Cr、Ag、Pt、Ga、Nb、Ta、Au、Si中的一种或一种以上的材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京超材信息科技有限公司 复合衬底、制作方法及应用
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