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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种排程建立程序生成方法、排程建立程序生成装置、排程建立装置、记录媒体、衬底处理装置及衬底处理系统。排程建立程序生成方法通过强化学习生成排程建立程序PL2，该排程建立程序PL2用于建立衬底处理装置WP中所包含的多个构成要素的时间排程。该方法包含如下工序：通过强化学习，反复执行包含配置工序S11及奖励决定工序S12的经验步骤来增大奖励的值；以及变更工序S14，变更规定时间排程的时长与奖励的值的关系的奖励函数。配置工序S11表示如下工序：将预先提供给各衬底W的多个计划要素BL依序配置在时间表TB中。奖励决定工序S12表示基于奖励函数而决定奖励的值的工序。变更工序S14包含如下工序：变更奖励函数，以使一部分区间TS的梯度变得比变更前大。
主权项：1.一种排程建立程序生成方法，通过强化学习生成排程建立程序，所述排程建立程序用于建立衬底处理装置中所包含的多个构成要素的时间排程，所述多个构成要素在处理多个衬底时被所述衬底占用，该排程建立程序生成方法包含如下工序：通过所述强化学习，反复执行包含配置工序与奖励决定工序的经验步骤来增大奖励的值；以及变更工序，变更规定所述时间排程的时长与所述奖励的值的关系的奖励函数；且所述配置工序表示如下工序：将预先提供给各所述衬底的多个计划要素依序配置在用于规定所述时间排程的时间表中，使所述时间表的状态依序发生变化，所述奖励决定工序表示如下工序：基于所述奖励函数、及已配置所有所述计划要素的所述时间表的最终状态，决定所述奖励的值，所述时间排程对应于所述时间表的最终状态，所述变更工序包含如下工序：变更所述奖励函数，以使从与所述奖励的最大值对应的所述时间排程的时长到与所述奖励的最小值对应的所述时间排程的时长为止的时间范围的一部分区间的梯度变得比变更前大。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 排程建立程序生成方法、排程建立程序生成装置、排程建立装置、记录媒体、衬底处理装置及衬底处理系统
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