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申请/专利权人：雅邦绿色过程与新材料研究院南京有限公司
摘要：本发明提供一种基于多重稀释法的半导体化学品ICP‑MS测定方法，包括如下步骤：首先将不能与水混合的待测定的半导体溶剂，加入助溶溶剂成为混合有机溶剂；然后将混合有机溶剂加纯水稀释得到1#稀释样品；再将1#稀释样品再加入纯水进行稀释得到2#稀释样品；对于待测定的半导体溶剂中的一种元素，以1#稀释样品，用电感耦合等离子质谱仪扫描得到标准曲线并计算出1#稀释样品的浓度C1；同理计算出2#稀释样品中该种元素的浓度C2；并将结果带入拟合算法公式，得到该元素在待测定的半导体溶剂中的浓度。本发明通过同一样品不同稀释倍数法，对混合基体ICP‑MS测定的信号值进行背景拟合运算，实现痕量元素的准确测定。
主权项：1.一种基于多重稀释法的半导体溶剂ICP-MS测定方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：1将不能与水混合的待测定的半导体溶剂，加入其质量5％-50％的助溶溶剂，成为混合有机溶剂；2将步骤1得到的混合有机溶剂加纯水稀释得到1#稀释样品，1#稀释样品中混合有机溶剂与纯水的质量比为D1，D1小于2:8；3将1#稀释样品再加入纯水进行稀释得到2#稀释样品，2#稀释样品中1#稀释样品与纯水的质量比为D2，D2小于2:8且D2不等于D1；4对于待测定的半导体溶剂中的一种元素，以步骤2得到的1#稀释样品，用电感耦合等离子质谱仪扫描，每扫描一次1#稀释样品后，加入质量比1％-5％酸性标准液，再进行下次扫描；以此类推，扫描三次以上得到标准曲线；通过标准曲线以及扫描得到的信号值计算出1#稀释样品的浓度C1；5用步骤4的方法，以步骤3得到的2#稀释样品用电感耦合等离子质谱仪扫描并计算出2#稀释样品中该种元素的浓度C2；6将上述结果带入拟合算法公式，得到该元素在待测定的半导体溶剂中的浓度C，拟合算法公式如下： ；步骤1中所述助溶溶剂选取甲醇、乙醇、甲醚、丙酮、乙酸乙酯、氮甲基吡咯烷酮中的一种或几种的组合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 雅邦绿色过程与新材料研究院南京有限公司 基于多重稀释法的半导体溶剂ICP-MS测定方法
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