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申请/专利权人：芝浦机械电子装置株式会社
摘要：本发明提出一种干燥装置、干燥状态确认方法及晶片收纳容器清洗装置。本发明的课题在于对于对象物的干燥状态进行确认。实施方式的干燥装置包括：干燥槽，在内部对干燥处理的对象物进行保持；减压装置，使干燥槽的内部减压；以及控制部，通过对减压装置进行控制来执行对干燥槽的内部进行减压而使水分蒸发除去的干燥处理，其中，控制部在干燥处理后，在规定时间内执行使干燥槽的内部的压力低于干燥处理时的压力的追加减压处理，基于追加减压处理后达到的干燥槽的内部的压力，对于对象物的干燥状态进行判定。
主权项：1.一种干燥装置，其特征在于，包括：干燥槽，在内部对干燥处理的对象物进行保持；减压装置，使所述干燥槽的内部减压；以及控制部，通过对所述减压装置进行控制，来执行对所述干燥槽的内部进行减压而使水分蒸发除去的干燥处理，其中，所述控制部在所述干燥处理后，在规定时间内执行使所述干燥槽的内部的压力低于所述干燥处理时的压力的追加减压处理，基于所述追加减压处理后达到的所述干燥槽的内部的压力，对所述对象物的干燥状态进行判定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芝浦机械电子装置株式会社 干燥装置、干燥状态确认方法及晶片收纳容器清洗装置
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