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申请/专利权人：江西联创电子有限公司
摘要：本发明提供了一种光学薄膜膜厚监控装置，包括底壳、监控片、旋转件和间隔件；所述底壳包括基板和环绕部，基板上开设有一镀膜孔，环绕部设置于基板上且位于镀膜孔外侧，环绕部和基板形成一容纳槽；监控片包括监控部和承靠部，监控部位于所述承靠部之间，监控片设置于所述容纳槽内且位于基板上，监控部至少部分覆盖所述镀膜孔；旋转件与所述承靠部卡接，旋转件带动所述监控片在基板上旋转；间隔件位于所述承靠部和所述基板之间，用于将监控片设置在基板上方。本发明可以通过监控片旋转监控不同阶段的膜层厚度，精确控制镀膜厚度，提升镀膜水平，也提升了量产镀膜的良率，该装置结构简单，拆装方便，提高了工作效率。
主权项：1.光学薄膜膜厚监控装置，其特征在于，一种光学薄膜膜厚监控装置，包括底壳1、监控片2、旋转件6和间隔件5；所述底壳1包括基板11和环绕部12，所述基板11上开设有一镀膜孔101，所述环绕部12设置于所述基板11上且位于所述镀膜孔101外侧，所述环绕部12和所述基板11形成一容纳槽103；所述监控片2包括监控部203和承靠部204，所述监控部203位于所述承靠部204之间，所述监控片2设置于所述容纳槽103内且位于所述基板11上，所述监控部203至少部分覆盖所述镀膜孔101；所述旋转件6与所述承靠部204卡接，所述旋转件6带动所述监控片2在基板11上旋转；所述间隔件5位于所述承靠部204和所述基板11之间，用于将监控片2设置在基板11上方。
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百度查询： 江西联创电子有限公司 光学薄膜膜厚监控装置
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