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申请/专利权人：国科大杭州高等研究院

摘要：本发明提供的一种用于半导体光电器件微区带宽测试系统及方法，包括激光器、调制系统、确定性光路、精密位移控制器、前置放大器、锁相放大器和PC端控制模块。本发明的的一种用于半导体光电器件微区带宽测试系统及方法在传统的带宽测试方法上首次提出了器件扫描的方式来测量器件微区的带宽，通过此方法不仅可以减小传统方法因光照射器件微区不同而导致的带宽测量误差，还可以表征器件微区最佳工作点。本发明使用方便，适用范围广，易于维护，具有良好的应用前景。

主权项：1.一种用于半导体光电器件微区带宽测试系统，其特征在于：包括激光器、调制系统、确定性光路、精密位移控制器、前置放大器、锁相放大器和PC端控制模块，所述激光器提供半导体光电器件测试所需光源，所述调制系统调控激光光源的频率，用于获得不同频率下的光响应，所述确定性光路调节光源的照射位置，使得激光光源照射到半导体光电器件上的指定微区位置，所述精密位移控制器通过控制位移平台控制半导体光电器件的移动，所述前置放大器将采集的微弱电信号进行放大，输出电信号至锁相放大器；所述锁相放大器对电信号进行积分放大，并获得光电流信号值；PC端控制模块包括数据传输模块、数据存储模块和数据处理模块，数据传输模块分别与精密位移控制器和锁相放大器连接，分别获得待测微区位置信息和光电流信号值；数据存储模块摘取测得的微区位置信息和光电流信号值，建立若干个同一频率下不同位置点的光电流信号值，将其汇总成若干个同一频率下不同位置点的光电流信号值矩阵；数据处理模块将每一个频率下不同位置点的光电流信号值矩阵处理为同一位置点不同频率值，从而计算不同微区位置的带宽值；用于半导体光电器件微区带宽测试系统的测试方法，包括以下步骤，S1，选择待测量的激光器波长并调节激光器出射光功率大小；S2，调节待测量的频率范围，进行频率调制，再进行光信号放大；S3，步骤S2获得的光信号经确定性光路照射至半导体光电器件微区，在半导体光电器件微区进行光电转换，得到电信号，S4，通过前置放大器为半导体光电器件提供偏压，并对电信号进行放大，S5，利用锁相放大器对步骤S3获得的电信号进行积分放大并采集光电流信号值；S6，PC端控制模块通过获取步骤S3获得的待测微区位置信息和步骤S5获得的光电流信号值，建立每一个频率下不同位置点的光电流信号值矩阵，从而计算出不同微区位置的带宽值。

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