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微流体装置 

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申请/专利权人:信越化学工业株式会社;信越工程株式会社

摘要:微流体装置包括:具有在内部形成的流路的微流体芯片;盖和底座,各自与微流体芯片的表面接触;芯片保持器,其包括用于将微流体芯片固定至盖和底座的固定装置;和一端与微流体芯片的表面接触且另一端起到流体供应或排出口作用的连接器。微流体芯片的表面的平坦度为50μm或更小,盖和底座的表面的平面度为50μm或更小。通过这种结构,微流体芯片几乎不变形,并且抑制对微流体芯片的损坏。另外,在与微流体芯片的流路的连接部分液体密封性高,液体泄露几乎不发生。

主权项:1.微流体装置,其包含:具有在内部形成的流路的微流体芯片;芯片保持器;和连接器;并微流体装置构造满足:所述芯片保持器包括与所述微流体芯片的表面接触的盖和底座、和连接所述盖和所述底座并使所述微流体芯片保持在所述盖和所述底座之间的固定装置;构造所述固定装置以固定所述盖和所述底座中的每个与所述微流体芯片紧密接触;所述连接器通过所述盖和所述底座中一个或两个,一端侧在所述微流体芯片的流路的开口部与所述微流体芯片的表面接触,另一端侧是流体供应口或流体排出口;与所述盖接触的所述微流体芯片的表面的平坦度和与所述底座接触的所述微流体芯片的表面的平坦度都为50μm或更小;和与所述微流体芯片接触的所述盖的表面的平面度和与所述微流体芯片接触的所述底座的表面的平面度都为50μm或更小。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 信越化学工业株式会社 信越工程株式会社 微流体装置

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