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一种基于超临界电沉积的电极距离及沉积深度可调装置 

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申请/专利权人:江苏理工学院

摘要:本发明涉及一种基于超临界电沉积的电极距离及沉积深度可调装置,包括用于进行电沉积反应的反应釜组件、用于固定电沉积工件的电极夹持组件和用于提供电沉积反应所需电能的电源;夹具组件包括固定在反应釜组件的顶部的法兰盘端盖和一组可伸缩机构电极夹具,法兰盘端盖的顶部设有电极连接片,法兰盘端盖的底部设有水平调节机构,可伸缩机构电极夹具设置在水平调节机构上,水平调节机构用于调节可伸缩机构电极夹具之间的距离,可伸缩机构电极夹具用于夹持电极并进行高度调节;本申请可以对电极水平调节和深度调节,调节方式多样,可以适应多种试验场景。

主权项:1.一种基于超临界电沉积的电极距离及沉积深度可调装置,其特征在于,包括用于进行电沉积反应的反应釜组件1、用于固定电沉积工件的电极夹持组件2和用于提供电沉积反应所需电能的电源3;所述夹具组件2包括固定在所述反应釜组件1的顶部的法兰盘端盖2-1-2和一组可伸缩机构电极夹具,所述法兰盘端盖2-1-2的顶部设有电极连接片2-1-1,所述法兰盘端盖2-1-2的底部设有水平调节机构,所述可伸缩机构电极夹具设置在所述水平调节机构上,所述水平调节机构用于调节所述可伸缩机构电极夹具之间的距离,所述可伸缩机构电极夹具用于夹持电极并进行高度调节;所述电源3与所述电极连接片2-1-1电连接,所述电极连接片2-1-1与所述水平调节机构电连接,所述水平调节机构与所述可伸缩机构电极夹具电连接,为电沉积工作提供电连接保证。

全文数据:

权利要求:

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