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一种基于GaN SBD和GaAs PIN两类器件的单片集成限幅器及其制造方法 

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申请/专利权人:中国电子科技集团公司第五十五研究所

摘要:本发明公开一种基于GaNSBD和GaAsPIN两类器件的单片集成限幅器及其制造方法,单片集成限幅器包括衬底,衬底上设有GaNSBD器件和第一键合功能层,第一键合功能层上表面从下到上依次设有第二键合功能层、GaAsPIN器件和微带线,GaNSBD器件上设有微带线;单片集成限幅器为多级限幅电路,其中,末级对管采用GaNSBD器件,其余每一级对管均采用GaAsPIN器件。本发明有效降低限幅门限电平、缩短响应时间、提高限幅器的频率响应能力和防止中小功率烧毁;末级对管采用GaNSBD进一步提高限幅芯片整体的功率容量;具有大幅提升限幅器的散热能力、进一步提高耐功率性能的技术优势。

主权项:1.一种基于GaNSBD和GaAsPIN两类器件的单片集成限幅器,其特征在于:所述单片集成限幅器包括衬底,所述衬底上设有GaNSBD器件和第一键合功能层,所述第一键合功能层的上表面从下到上依次设有第二键合功能层、GaAsPIN器件和微带线,所述GaNSBD器件上设有微带线;所述单片集成限幅器为多级限幅电路,其中,末级对管采用GaNSBD器件,其余每一级对管均采用GaAsPIN器件。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国电子科技集团公司第五十五研究所 一种基于GaN SBD和GaAs PIN两类器件的单片集成限幅器及其制造方法

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