龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：西安交通大学
摘要：本发明涉及微纳制造与先进传感芯片领域，公开了一种沙漏形悬臂梁结构的高灵敏压电式振动传感芯片及其制备方法，贯穿硅基底、绝缘层、下电极层、压电材料层、电极层和钝化层设有若干通孔，并形成有中心区域、边缘区域和若干沙漏型的悬臂梁结构，若干悬臂梁结构呈中心对称分布；硅基底上与中心区域相对的位置的部分作为质量块，与悬臂梁结构相对的位置设为空白区域；电极层上在悬臂梁结构腰部对应的位置设有间隙，间隙将电极层分隔为外电极和内电极，外电极位于内电极的外围；钝化层表面设有与内电极相连的内电极电路、与外电极相连的外电极电路和与下电极层相连的下电极电路。本发明能够实现在噪声影响显著的工作状况下，对设备振动状况的测量。
主权项：1.一种沙漏形悬臂梁结构的高灵敏压电式振动传感芯片，其特征在于，包括依次连接的硅基底、绝缘层5、下电极层6、压电材料层7、电极层8和钝化层9，贯穿所述硅基底、绝缘层5、下电极层6、压电材料层7、电极层8和钝化层9设有若干通孔13，所述若干通孔13将绝缘层5、下电极层6、压电材料层7、电极层8和钝化层9划分为位于中心区域的中心区域18、位于中心区域18外围的边缘区域19、以及位于中心区域18与边缘区域19之间的若干悬臂梁结构14，若干悬臂梁结构14呈中心对称分布，每个悬臂梁结构14呈沙漏型，悬臂梁结构14的外端与边缘区域19连接，悬臂梁结构14的内端与中心区域18连接；硅基底上与中心区域18相对的位置的部分作为质量块1，硅基底上与悬臂梁结构14相对的位置设为空白区域；电极层8上在悬臂梁结构14腰部对应的位置设有间隙8-3，间隙8-3将电极层8分隔为外电极8-1和内电极8-2，外电极8-1位于内电极8-2的外围；钝化层9表面设有与内电极8-2相连的内电极电路10、与外电极8-1相连的外电极电路11和与下电极层6相连的下电极电路12。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 一种沙漏形悬臂梁结构的高灵敏压电式振动传感芯片及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号