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申请/专利权人：合肥清溢光电有限公司
摘要：本发明涉及掩模版制造技术领域，公开了一种掩模版自动换PIN机器人，包括换PIN夹具单元支架以及驱动换PIN夹具单元支架在三轴上移动的机械臂，所述换PIN夹具单元支架上分别安装有PIN柱夹爪与CAP夹爪；所述机械臂带动CAP夹爪移动至掩膜版承载平台上CHUCKCAP正上方，CAP夹爪向下移动，夹持并旋转拧出CHUCKCAP；所述机械臂带动PIN柱夹爪移动至掩膜版承载平台上PIN柱正上方，PIN柱夹爪向下移动，夹持并旋转拧出PIN柱；在所述机械臂的带动下，互换夹持有CHUCKCAP的CAP夹爪与PIN柱的PIN柱夹爪的位置，CAP夹爪带动CHUCKCAP向下移动，旋转拧入CHUCKCAP；PIN柱夹爪带动PIN柱向下移动，旋转拧入PIN柱。本发明，通过自动更换PIN柱，能够很好地维护设备内部的加工环境同时高效精准地更换PIN柱，降低人员手动换PIN柱带来的风险。
主权项：1.一种掩模版自动换PIN机器人，其特征在于，包括换PIN夹具单元支架以及驱动换PIN夹具单元支架在三轴上移动的机械臂，所述换PIN夹具单元支架上分别安装有PIN柱夹爪与CAP夹爪；所述机械臂带动CAP夹爪移动至掩膜版承载平台上CHUCKCAP正上方，CAP夹爪向下移动，夹持并旋转拧出CHUCKCAP；所述机械臂带动PIN柱夹爪移动至掩膜版承载平台上PIN柱正上方，PIN柱夹爪向下移动，夹持并旋转拧出PIN柱；在所述机械臂的带动下，互换夹持有CHUCKCAP的CAP夹爪与PIN柱的PIN柱夹爪的位置，CAP夹爪带动CHUCKCAP向下移动，旋转拧入CHUCKCAP；PIN柱夹爪带动PIN柱向下移动，旋转拧入PIN柱。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥清溢光电有限公司 一种掩模版自动换PIN机器人
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