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申请/专利权人：东莞市志橙半导体材料有限公司
摘要：本实用新型提供一种热解炭沉积反应腔结构，其包括共同围成密闭反应腔腔体的多个侧板、角杆、与所述侧板相配合设置的顶板和底板，所述热解炭沉积反应腔结构还包括活动贯穿所述顶板的中心位置的进气管，所述进气管上均匀设置多个进气孔，所述进气孔分布在所述进气管的侧边和底部，所述顶板和所述底板均为分段式可拆卸连接结构，所述顶板的中间设置与所述进气管相适应的圆孔，所述侧板的底部均匀设置出气孔，所述角杆用于固定所述侧板和所述顶板。本实用新型提供的热解炭沉积反应腔结构有效提高热解炭沉积反应的反应效率和反应均匀性。
主权项：1.一种热解炭沉积反应腔结构，其特征在于，包括共同围成密闭反应腔腔体的多个侧板（10）、角杆（20）、与所述侧板（10）相配合设置的顶板（30）和底板（40），所述热解炭沉积反应腔结构还包括活动贯穿所述顶板（30）的中心位置的进气管（50），所述进气管（50）上均匀设置多个进气孔（51），所述进气孔（51）分布在所述进气管（50）的侧边和底部，所述顶板（30）和所述底板（40）均为分段式可拆卸连接结构，所述顶板（30）的中间设置与所述进气管（50）相适应的圆孔（31），所述侧板（10）的底部均匀设置出气孔（11），所述角杆（20）用于固定所述侧板（10）和所述顶板（30）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞市志橙半导体材料有限公司 热解炭沉积反应腔结构
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