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申请/专利权人:弗萨姆材料美国有限责任公司
摘要:所公开和要求保护的主题涉及式BiRaxAr3‑x,其中x=1或2的铋前体及其作为沉积含金属膜的前体的用途。
主权项:1.式BiRaxAr3-x的前体,其中ix=1或2,ii每个Ra独立地为未取代的直链C1-C6烷基、被一个或多个卤素取代的直链C1-C6烷基、被氨基取代的直链C1-C6烷基、未取代的支链C3-C6烷基、被一个或多个卤素取代的支链C3-C6烷基、被氨基取代的支链C3-C6烷基、未取代的胺、取代的胺和-SiCH33中的一种,以及iii每个Ar独立地为C3-C8未取代的芳族基团、被一个或多个卤素取代的C3-C8芳族基团、被氨基取代的C3-C8芳族基团、5元杂环和6元杂环中的一种;且iv所述前体不包括:a.b.c.
全文数据:
权利要求:
百度查询: 弗萨姆材料美国有限责任公司 用于沉积含铋膜的前体
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