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申请/专利权人：青海黄河上游水电开发有限责任公司西宁太阳能电力分公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司西安太阳能电力分公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司
摘要：本实用新型公开了一种硼扩散BCl3集中供气管路装置，包括：特气柜以及气源柜；所述特气柜包括特气瓶、主气路、吹扫管路、抽真空管路，其中，主气路的一端与特气瓶连接，主气路的另一端与气源柜连接，吹扫管路和抽真空管路均与主气路连接；所述气源柜包括多条并联于主气路上的供气管，每条供气管上均连接有一个泄压旁路和一个吹扫支路。本实用新型将原有的单管液态三溴化硼BBr3供源方式升级为集中式气态三氯化硼BCl3供给方式。升级后一方面能够提升产品的效率，另一方面可以极大的延长硼扩散石英器件石英炉管、石英炉门的使用寿命和降低硼源的采购费用。
主权项：1.一种硼扩散BCl3集中供气管路装置，其特征在于，包括：特气柜以及气源柜；所述特气柜包括特气瓶1、主气路、吹扫管路、抽真空管路，其中，主气路的一端与特气瓶1连接，主气路的另一端与气源柜连接，吹扫管路和抽真空管路均与主气路连接；所述气源柜包括多条并联于主气路上的供气管，每条供气管上均连接有一个泄压旁路和一个吹扫支路。
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